山東汽車(chē)?yán)锍瘫韨鞲衅?/strong>電子系統(tǒng)向著采用Mems傳感器的方向發(fā)展,。Philips Electronics公司和Continental Treves公司10年銷(xiāo)售1億只用于汽車(chē)ABS系統(tǒng)的傳感器芯片,,生產(chǎn)上達(dá)到了一個(gè)新的里程碑。兩個(gè)公司共同開(kāi)發(fā)有源磁場(chǎng)傳感器的前瞻性技術(shù),,產(chǎn)品應(yīng)用在汽車(chē)廠家生產(chǎn)的最新的轎車(chē)上,。Continental Teves公司用這種磁阻式轉(zhuǎn)速傳感器制作了輪速傳感器,用于ABS系統(tǒng),,防滑系統(tǒng)等,。Mems傳感器成本低、可靠性好,、尺寸小,,可以集成在新的系統(tǒng)中,工作時(shí)間達(dá)到幾百萬(wàn)個(gè)小時(shí),。Mems器件最早的是絕壓傳感器(Map)和氣囊加速度傳感器,。正在研發(fā)和小批量生產(chǎn)的MEMS/MST產(chǎn)品有:輪速旋轉(zhuǎn)傳感器,胎壓傳感器,,制冷壓力傳感器,,發(fā)動(dòng)機(jī)油壓傳感器,剎車(chē)壓力傳感器和偏離速率傳感器等等,。在今后的5-7年Mems器件將大量應(yīng)用到汽車(chē)系統(tǒng)中,。